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產品簡介
PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，PFA硅片清洗架特氟龍清洗花籃4寸帶把手
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PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍 ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
特點 1.耐腐蝕：耐受強酸強堿 2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸 3.耐高低溫：-200~260℃ 4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關； 5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb； 6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染 7.化學性能穩定
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